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合肥科晶1350℃溫控型插入式蒸發(fā)源GSL-1350-ISE是一款溫控型可插入式蒸發(fā)儀,適用于蒸發(fā)各種金屬和有機(jī)材料,其高溫可達(dá)1350℃
更新時(shí)間:2024-12-08
合肥科晶1350℃溫控型插入式蒸發(fā)源 GSL-1350-ISE
產(chǎn)品概述:
GSL-1350-ISE是一款溫控型可插入式蒸發(fā)儀,適用于蒸發(fā)各種金屬和有機(jī)材料,其高溫可達(dá)1350℃。采用磁流體密封,可保證在旋轉(zhuǎn)的腔體中進(jìn)行PVD實(shí)驗(yàn)。KF50的旋轉(zhuǎn)式快接法蘭,可非常方便地與各種真空腔體對接。此模塊還配有一進(jìn)氣閥,用于通入氣體對腔體進(jìn)行清洗和排氣,保證樣品在蒸鍍過程中不被氧化。
結(jié)構(gòu)&特點(diǎn):
此蒸鍍系統(tǒng)升溫可以手動(dòng)和自動(dòng)兩種模式。手動(dòng)模式可以快速加大電流,達(dá)到快速加熱蒸發(fā),但溫控性較差。自動(dòng)控制控溫較準(zhǔn)確。
采用鎢線圈加熱,氧化鋁坩堝裝料,其高溫可達(dá)1350℃
精確控溫,可設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度可達(dá)+/- 1 oC
Φ6.35mm進(jìn)氣口,可向蒸鍍腔體中通入氣體
電源:電壓:208 - 240 VAC 50/60 Hz, 單相, 500W
溫控系統(tǒng)&加熱源:
工作溫度: 1350oC (<1hr)., 連續(xù)工作溫度:1200℃
500WDC蒸發(fā)電源,大電流30A
鎢絲加熱,S型熱偶測溫,氧化鋁坩堝裝樣
溫控系統(tǒng)可設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度:+/- 1 oC
建議升溫速率< 30 oC/min
若長期工作在800℃以上,必須用高溫棉填滿耐火保溫層與坩堝之間的間隙??蓽p少鎢絲加熱元件的損耗。
樣品坩堝:
配有0.7ml的氧化鋁坩堝
S型熱電偶嵌在坩堝底部,用于精確測量加熱溫度
進(jìn)氣口:
6.35進(jìn)氣口,用于向蒸鍍腔體中通入氣體
一個(gè)針閥安裝在進(jìn)氣口后端,用于控制其氣體流量
質(zhì)量認(rèn)證:CE認(rèn)證
合肥科晶1350℃溫控型插入式蒸發(fā)源
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